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电容耦合高频等离子体(焰炬)capacili}elycaupfedhigh-frequencyplasma[Torch)以小于30}MHa射频为辐射频率，工作频率在1U一1O
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高频等离子体发生器是通过高频发生器的作用产生高频振荡磁场，供给等离子体能量。当高频电源与围绕在等离子炬管外的负载应线圈接通时，高频感应电流流过线圈，产生轴向高频磁场。此时向矩管的外管内切
